科晶三靶磁控濺射儀

型號(hào)：VTC-600-3HD

產(chǎn)品概述：

VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀是新研制開發(fā)的鍍膜設(shè)備，可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。與同類設(shè)備相比，其不僅應(yīng)用廣泛，且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn)，是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備，特別適用于實(shí)驗(yàn)室研究固態(tài)電解質(zhì)及OLED等。

主要特點(diǎn)：

• 可制備多種薄膜，應(yīng)用廣泛 
• 體積小，操作簡便 
• 真空腔室、真空泵組整機(jī)模塊化設(shè)計(jì) ，控制電源為分體式設(shè)計(jì)，可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整購買需求。 
• 可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源，可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍，也可多個(gè)電源單一控制靶槍

磁控濺射頭：

• 儀器中安裝有3個(gè)磁控濺射頭，而且都帶有水冷夾層
• 其中一個(gè)濺射頭與射頻電源相連接，主要是濺射絕緣性靶材
• 另一個(gè)濺射頭與直流電源相連接，主要濺射導(dǎo)電性靶材 
• 靶材尺寸要求：直徑為50mm,厚度0.1-5mm（因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同） 
• 可以單獨(dú)訂購RF連接線作為備用
• 設(shè)備包含一臺(tái)水冷機(jī)，用于靶頭冷卻

載樣臺(tái)：

• 載樣臺(tái)尺寸：φ140mm（大可放 置4"的基底） 
• 載樣臺(tái)可以旋轉(zhuǎn)，其速度為：1 - 20 rpm （可調(diào)） 
• 載樣臺(tái)高可加熱溫度為500℃

真空腔體：

• 真空腔體：φ300 mm×300 mm H，采用不銹鋼制作 
• 觀察窗口：Φ100 mm 
• 腔體打開方式采用上頂開，使得換靶更加容易

氣體流量控制器：

• 儀器內(nèi)部安裝有2個(gè)質(zhì)量流量計(jì)，量程為：0-100sccm 
• 氣體流量設(shè)置可以在6英寸的觸摸屏上進(jìn)行操作 
• 此系統(tǒng)運(yùn)行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設(shè)備中不包含）

真空系統(tǒng)：

• 配有一套GZK-103D分子泵系統(tǒng)（德國制作） 
• 標(biāo)準(zhǔn)5E-5mbar 極限7.4E-6mbar

薄膜測厚：

• 一個(gè)精密的石英振動(dòng)薄膜測厚儀安裝 在儀器上，可實(shí)時(shí)監(jiān)測薄膜的厚度，分辨率為0.10 Å
• LED顯示屏顯示，同時(shí)也輸入所制作薄膜的相關(guān)數(shù)據(jù)

產(chǎn)品外形尺寸：

• L1300mm×W660mm H1200mm 
• 凈重：160 kg

科晶三靶磁控濺射儀

型號(hào)：VTC-600-3HD

質(zhì)量認(rèn)證：CE認(rèn)證

使用提示：

• 此設(shè)備為DIY設(shè)備，參數(shù)變化較大購買前請(qǐng)務(wù)必電話仔細(xì)溝通 
• 為了得到較好的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N） 
• 在濺射鍍膜前，確保濺射頭、靶材、基片和樣品臺(tái)的潔凈 
• 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合，請(qǐng)?jiān)跒R射前清潔基材表面 
• 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點(diǎn)擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮?dú)飧稍?（4）真空烘箱除去水分。 
• 等離子清洗：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵，可祛除額外的污染物。
• 制造一個(gè)薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr，Ti，Mo，Ta，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。

警示：

• 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件，禁止私自拆裝，帶電移動(dòng)機(jī)體 
• 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括），保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕以下，以安全使用 
• 濺射頭連接到高電壓。為了安全，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶